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Nein, mit EUV wird erstmals mit weniger als mit klassischen 192nm belichtet und man braucht eben nicht mehr die endlos vielen Prozessabschnitte um einen 14nm chip beispielsweise herzustellen. Mit EUV kann man in knapp 14nm belichten.
Die Kosten eines solchen Prozessverfahrens werden eben dann nach unten gedrückt, weil mittels EUV weniger Prozessabschnitte benötigt werden. Was EUV also macht, ist die Kosten für kommende 14 und 7nm-basierte Verfahren deutlich nach unten zu drücken und auch ältere/geößere Verfahren lassen sich damit (Wenn die kosten der Anlage dementsprechend sinken) günstiger herstellen.
Ein echter 5 oder 3 nm Chip wird durch EUV natürlich nicht automatisch einfacher herzustellen sein, da mittels klassichem FinFet dort ganz andere Probleme wie eben diverse Quanteneffekte auftreten, die dann eben mit dem gesagten Graphen oder GAAFet gelöst werden können.
Wie extrem es mit "klassichen" mitteln sind, sind im dem Artikel gut aufgeführt